2026年9月2日13：15～16：30に2026年度ATEC専門技術研修*（測定系）が行われました。講師は測定系の松林さんにご担当いただき、4名が参加してSEM-EDX**やクリーンルームについて学びました。
- 講習の様子
- クリーンルームでの装置紹介
- 試料作製と分析（SEM-EDX）
日立ハイテク製卓上顕微鏡TM3030Plus***を用いて、500円玉や基板などの身近な素材と持ち込んだ試料の表面観察と組成分析を実施しました。
持込試料として、使用前試薬と使用済試薬の違いを観察しました。
使用前後での表面の割れ目の形状の差と組成の違いが観察でき、大変興味深い結果となりました。
普段入る機会の少ないクリーンルームに入室して設備や様々な装置の解説を聞き、とても勉強になりました。
ATEC内での情報交換や研修へ参加し、自身の業務に還元できればと存じます。
*高度技術支援センターの技術職員が専門分野の枠を超えてお互いの技術を学ぶ研修。
**SEM-EDX（走査電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分析）
絞り込んだ電子線を試料表面に走査させ、高倍率・深い焦点深度で表面の立体構造を観察する「SEM」と、
その際発生する特性X線を検出して元素特定や組成比を算出する「EDX」を組み合わせた複合分析手法。
表面状態の観察と、特定の微小な領域における元素の分布調査（マッピング）を、同一の視野から同時にその場で行える点が最大の強みです。
製造業における異物特定、材料開発における組織評価、デバイスの破壊・故障解析（原因究明）など、
実務上の課題を解決するための不可欠な分析手段として広く普及しています。
***下記リンクに詳しい説明があります。ご参照ください。